機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理 [単行本]

機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理 [単行本] の 商品概要

• 目次

  第1章　超微細加工技術とは
  
  第2章　真空と気体分子運動論
  
  第3章　プラズマの基礎
  
  第4章　物理蒸着法（PVD）
  
  第5章　薄膜の形成過程
  
  第6章　エッチング
  
  第7章　フォトリソグラフィ
  
  付録A　基礎定数表と真空の単位
  付録B　材料の科学についてのノート
  付録C　分布関数とマックスウェル-ボルツマン分布
  付録D　対数目盛と対数グラフ

• 出版社からのコメント

  物理・化学の基本原理をわかりやすく解説

• 内容紹介

  マイクロ・ナノ加工の要素技術である真空、プラズマ、薄膜、エッチング加工およびフォトリソグラフィーについて、その物理・化学の基本原理を解説する。とくに、集積回路、記憶媒体、液晶ディスプレイ、マイクロマシンなど先端精密機器を製造する上で欠かせない薄膜ドライプロセッシングに主眼を置いている。

• 著者紹介（「BOOK著者紹介情報」より）（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

  近藤 英一(コンドウ エイイチ)
  １９８４年早稲田大学理工学部卒、１９８６年同大学院修了。川崎製鉄ハイテク研究所主任研究員、ＩＭＥＣ研究員（ベルギー）などを経て、山梨大学助教授（工博、京都大学）

機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理 [単行本] の商品スペック