図解入門よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み―製造装置の全体を俯瞰する(How-nual Visual Guide Book) [単行本]

図解入門よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み―製造装置の全体を俯瞰する(How-nual Visual Guide Book) の 商品概要

• 要旨(「BOOK」データベースより）

  製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置まで、豊富なイラストで手に取るようにわかる。

• 目次(「BOOK」データベースより）

  第１章　半導体製造装置を周辺から理解する
  第２章　洗浄・乾燥装置
  第３章　イオン注入装置
  第４章　熱処理装置
  第５章　リソグラフィー装置
  第６章　エッチング装置
  第７章　成膜装置
  第８章　平坦化（ＣＭＰ）装置
  第９章　検査・測定・解析装置
  第１０章　後工程装置

• 著者紹介（「BOOK著者紹介情報」より）（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

  佐藤 淳一(サトウ ジュンイチ)
  京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業（株）（現ＴＤＫ）入社。１９８２年、ソニー（株）入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験。現在はナノフロント研究所代表として半導体技術コンサルタント、テクニカルライターとして活動。応用物理学会員

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