絵とき「放電技術」基礎のきそ [単行本]

絵とき「放電技術」基礎のきそ [単行本] の 商品概要

• 要旨(「BOOK」データベースより）

  ナノサイズの素子を作るためのキーテクノロジーである放電プラズマ。その各装置と応用の両面での参考書。

• 目次(「BOOK」データベースより）

  第１章　放電・プラズマの概要（放電・プラズマとは
  高度情報化社会を支える放電技術　ほか）
  第２章　物質の構成要素と気体（物質の最小微粒子
  電子の３つの顔　ほか）
  第３章　放電プラズマの基礎（電子と分子の衝突
  放電開始　ほか）
  第４章　放電プラズマ直接応用（スパッタ薄膜
  プラズマＣＶＤ　ほか）
  第５章　プラズマ・プロセス応用（垂直磁気記録
  超ＬＳＩ　ほか）

• 著者紹介（「BOOK著者紹介情報」より）（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

  小林 春洋(コバヤシ ハルヒロ)
  大正１４年福島県に生まれる。昭和２４年東北大学電気工学科卒業、東北大学工学部大学院特別研究生。昭和３１年東北大学工学部助教授、日本電気株式会社。昭和３３年工学博士（東北大学）。昭和４８年日電バリアン（株）（現キヤノンアネルバ（株））。昭和６０年（株）トーキン。昭和６３年同退職。１９７１～１９８９東京都立大学工学部電気工学科非常勤講師。１９９１～２００２東京電機大学工学部電子工学科非常勤講師。１９９２～１９９５中央大学理工学部兼任講師

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