半導体ドライエッチング技術(集積回路プロセス技術シリーズ) [単行本]

販売休止中です

    • 半導体ドライエッチング技術(集積回路プロセス技術シリーズ) [単行本]

    • ￥6,160185 ゴールドポイント（3％還元）
半導体ドライエッチング技術(集積回路プロセス技術シリーズ) [単行本]

半導体ドライエッチング技術(集積回路プロセス技術シリーズ) [単行本]

徳山 巍(編著)
価格：￥6,160（税込）
ゴールドポイント：185 ゴールドポイント（3％還元）（￥185相当）
日本全国配達料金無料
出版社：産業図書
販売開始日： 1992/10/06
お取り扱い： のお取り扱い商品です。
ご確認事項：返品不可

カテゴリランキング

  • 販売休止中です

お気に入りに登録する

半導体ドライエッチング技術(集積回路プロセス技術シリーズ) の 商品概要

  • 要旨(「BOOK」データベースより）

    本書は集積回路プロセス技術シリーズの中の一巻として企画され、ドライエッチング技術を、その基礎から最先端まで集大成してまとめたものであり、１９８０年に同シリーズから刊行された「半導体プラズマプロセス技術」を補完するものである。

  • 目次(「BOOK」データベースより）

    超ＬＳＩ技術とドライエッチング
    ドライエッチングの基礎
    最新のドライエッチング技術（シリコン
    化合物半導体）
    ドライエッチングとレジスト技術
    最新のドライエッチング装置
    モデリングとシミュレーション
    ドライエッチングと計測
    ドライエッチングの新技術
    ドライエッチング技術の将来展望

半導体ドライエッチング技術(集積回路プロセス技術シリーズ) の商品スペック

商品仕様
出版社名：産業図書
著者名：徳山 巍（編著）
発行年月日：1992/10/06
ISBN-10：4782856288
ISBN-13：9784782856284
判型：A5
対象：専門
発行形態：単行本
内容：電子通信
ページ数：394ページ
縦：22cm
他の産業図書の書籍を探す

    産業図書 半導体ドライエッチング技術(集積回路プロセス技術シリーズ) [単行本] に関するレビューとＱ＆Ａ

    商品に関するご意見やご感想、購入者への質問をお待ちしています！