プラズマ工学 [単行本]
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出版社：電気書院
販売開始日： 2010/09/10
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プラズマ工学 [単行本] の 商品概要

  • 目次(「BOOK」データベースより）

    プラズマとは
    プラズマの発生・維持
    プラズマを記述する方程式とプラズマの特性
    プラズマ内の波
    拡散とプラズマ密度分布
    プラズマの温度・密度の推定と容量結合形プラズマ源
    誘導結合形プラズマ源
    電磁波を用いた高密度プラズマ源
    スパッタリングと直流マグネトロン放電
    プラズマ計測
    半導体プロセスへの応用
    プラズマの光源としての応用
    核融合発電への応用
    大気圧放電とその応用
    超粒子シミュレーション

  • 著者紹介（「BOOK著者紹介情報」より）（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

    小越 澄雄(コゴシ スミオ)
    １９７７東京大学大学院電気工学博士課程修了。工学博士。１９７７英国オックスフォード大学研究員。１９８０東京大学電気工学科助手、１９８７講師。１９８７東京理科大学理工学部助教授。１９９７東京理科大学理工学部教授

プラズマ工学 [単行本] の商品スペック

商品仕様
出版社名：電気書院
著者名：小越 澄雄（著）
発行年月日：2010/09/10
ISBN-10：4485302121
ISBN-13：9784485302125
判型：A5
対象：専門
発行形態：単行本
内容：電気
ページ数：168ページ
縦：21cm
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