半導体製造の技術開発―品質工学応用講座 [単行本]
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出版社：日本規格協会
販売開始日： 1994/10/28
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半導体製造の技術開発―品質工学応用講座 [単行本] の 商品概要

  • 目次(「BOOK」データベースより）

    半導体の技術開発
    半導体産業への品質工学の導入
    半導体の関連技術と品質工学
    プロセスデバイス・シミュレーションによるＭＯＳトランジスタの安定性設計
    安定なＭＯＳトランジスタの設計
    ＩＣ微細加工へのパラメータ設計の適用
    レジストパターニング性能の向上
    レジスト塗布工程における塗布条件の最適化〔ほか〕

半導体製造の技術開発―品質工学応用講座 [単行本] の商品スペック

商品仕様
出版社名：日本規格協会
発行年月日：1994/10/28
ISBN-10：4542511103
ISBN-13：9784542511101
判型：A5
対象：専門
発行形態：単行本
内容：工学・工業総記
ページ数：366ページ
縦：21cm
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