レーザーマイクロ・ナノプロセッシング(エレクトロニクス材料・技術シリーズ) [単行本]

レーザーマイクロ・ナノプロセッシング(エレクトロニクス材料・技術シリーズ) の 商品概要

• 目次（「BOOK」データベースより）

  第１編　レーザープロセッシング序論（レーザー装置の開発
  レーザープロセッシングの経過　ほか）
  第２編　レーザー装置の特徴とプロセッシングへの展開（エキシマレーザー
  半導体励起固体レーザー　ほか）
  第３編　研究開発の現状と将来産業技術への課題と展望（次世代材料創製
  材料加工　ほか）
  第４編　レーザー応用技術の展望（レーザー発振波長の短波長化
  レーザー発振の短パルス化　ほか）

• 著者紹介（「BOOK著者紹介情報」より）（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

  杉岡 幸次(スギオカ コウジ)
  （独）理化学研究所緑川レーザー物理工学研究室先任研究員
  
  矢部 明(ヤベ アキラ)
  （独）産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門（非常勤）

レーザーマイクロ・ナノプロセッシング(エレクトロニクス材料・技術シリーズ) の商品スペック