薄膜のプロセッシング

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薄膜のプロセッシング
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薄膜のプロセッシング

価格：￥2,669（税込）
ゴールドポイント：81 ゴールドポイント（3％還元）（￥81相当）
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出版社：早稲田大学
販売開始日： 1990/09/10
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薄膜のプロセッシング の 商品概要

  • 要旨(「BOOK」データベースより）

    エレクトロニクスにおける重要な材料の一つが薄膜である。ＬＳＩからＵＬＳＩにいたる薄膜の加工方法を分類し詳細に解説した本書は、読者が薄膜プロセスの基本と問題点を理解し、さらに新しい薄膜応用にチャレンジするための手引となろう。

  • 目次(「BOOK」データベースより）

    ウェーハ表面のクリーニング
    酸化膜と窒化膜の形成
    リソグラフィ
    不純物ドーピングとメタライゼーション
    プロセスの問題点

薄膜のプロセッシング の商品スペック

商品仕様
出版社名：早稲田大学出版部
著者名：井上 知泰（著）
発行年月日：1990/09/10
ISBN-10：4657909363
ISBN-13：9784657909367
判型：A5
ページ数：125ページ
縦：21cm
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