低温プラズマ材料化学 [単行本]
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低温プラズマ材料化学 [単行本]

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出版社:産業図書
販売開始日: 1994/03/18
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低温プラズマ材料化学 [単行本] の 商品概要

  • 目次(「BOOK」データベースより)

    第1章 低温プラズマによる物質創製の意義
    第2章 プラズマの化学
    第3章 プラズマCVD
    第4章 イオンプレーティング
    第5章 スパッタリング
    第6章 プラズマ重合
    第7章 プラズマ表面処理
    第8章 プラズマエッチング

低温プラズマ材料化学 [単行本] の商品スペック

商品仕様
出版社名:産業図書
著者名:長田 義仁(編著)
発行年月日:1994/03/18
ISBN-10:4782820534
ISBN-13:9784782820537
判型:A5
対象:専門
発行形態:単行本
内容:化学
ページ数:296ページ
縦:22cm
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