薄膜成長の話(エレクトロニクスと材料〈3〉)

薄膜成長の話(エレクトロニクスと材料〈3〉) の 商品概要

• 要旨(「BOOK」データベースより）

  エレクトロニクスにおける重要な材料の１つが薄膜である。厚さ０．００１ｍｍ以下の薄膜を加工し、さらに別の薄膜を成長させることにより、基本的にはＩＣもＬＳＩも超ＬＳＩも作ることができる。薄膜の成長方法と評価方法を新しい観点から分類した本書は、読者が薄膜成長の基本的な現象を理解し、さらに薄膜の新しい可能性を見いだすための手引となろう。

• 目次(「BOOK」データベースより）

  第１章　薄膜研究の出発
  第２章　薄膜の成長（気相から結晶を作る
  薄膜の成長）
  第３章　薄膜作製法の実際（薄膜の原料気体の準備
  成長環境と下地表面）
  第４章　薄膜を知る
  第５章　薄膜を測る（薄膜は厚い？
  薄膜は丈夫？
  電気特性を測る）
  第６章　薄膜を分析する（薄膜の結晶構造を測る
  電子顕微鏡で観察する
  電子線で表面の元素と構造を分析する
  イオンで界面の構造を解明する
  微量不純物を分析する）

薄膜成長の話(エレクトロニクスと材料〈3〉) の商品スペック