イオン応用機器概論 [単行本]
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イオン応用機器概論 [単行本]

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出版社:開発社
販売開始日: 1994/03/30
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イオン応用機器概論 [単行本] の 商品概要

  • 目次(「BOOK」データベースより)

    イオン技術応用分野とイオン機器の需要動向
    半導体イオン注入
    金属改質イオン注入
    薄膜生成イオン応用
    微細加工
    企業及び研究機関

イオン応用機器概論 [単行本] の商品スペック

商品仕様
出版社名:開発社
著者名:磯部 昭二(著)/下条 哲男(著)/竹本 正勝(著)/鷹野 一朗(著)
発行年月日:1994/03/30
ISBN-10:4759100865
ISBN-13:9784759100860
判型:A5
対象:専門
発行形態:単行本
内容:電気
ページ数:135ページ
縦:22cm
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