半導体・MEMSのための超臨界流体 [単行本]
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半導体・MEMSのための超臨界流体 [単行本]
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出版社：コロナ社
販売開始日： 2012/09/03
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半導体・MEMSのための超臨界流体 [単行本] の 商品概要

  • 目次(「BOOK」データベースより）

    １　超臨界流体とマイクロ・ナノプロセス
    ２　半導体とＭＥＭＳの製造プロセス
    ３　超臨界乾燥
    ４　超臨界流体を用いた半導体・ＭＥＭＳ洗浄技術
    ５　多孔質薄膜と細孔エンジニアリング
    ６　めっきへの応用
    ７　化学的薄膜堆積
    ８　超臨界流体を用いたエッチング加工

  • 著者紹介（「BOOK著者紹介情報」より）（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

    近藤 英一(コンドウ エイイチ)
    １９８５年早稲田大学理工学部金属工学科卒業。１９８７年早稲田大学大学院博士前期課程修了（資源および金属工学専攻）。川崎製鐵株式会社（現ＪＦＥスチール株式会社）勤務。１９９４年川崎製鐵株式会社ハイテク研究所主任研究員。１９９５年博士（工学）（京都大学）。１９９６年ＩＭＥＣ（ベルギー）研究員。１９９７年ＩＭＥＣエキスパート研究員。１９９８年九州工業大学助教授。２０００年山梨大学助教授。２００７年山梨大学教授

半導体・MEMSのための超臨界流体 [単行本] の商品スペック

商品仕様
出版社名：コロナ社
著者名：近藤 英一（編著）
発行年月日：2012/09/28
ISBN-10：4339008370
ISBN-13：9784339008371
判型：A5
対象：専門
発行形態：単行本
内容：電子通信
ページ数：227ページ
縦：21cm
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