はじめての薄膜作製技術 第2版 [単行本]
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はじめての薄膜作製技術 第2版 [単行本]
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はじめての薄膜作製技術 第2版 [単行本]

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出版社：森北出版
販売開始日： 2012/11/15
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はじめての薄膜作製技術 第2版 [単行本] の 商品概要

  • 要旨(「BOOK」データベースより）

    薄膜特有の物性／プラズマ物理の基礎／応用事例、薄膜作成に欠かせない理論とノウスウを体系的に解説。

  • 目次(「BOOK」データベースより）

    第１章　薄膜とは
    第２章　薄膜作製技術の基礎
    第３章　真空蒸着法
    第４章　スパッタリング法
    第５章　化学気相成長法
    第６章　薄膜の評価技術
    第７章　薄膜作製技術の応用

  • 著者紹介（「BOOK著者紹介情報」より）（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

    草野 英二(クサノ エイジ)
    １９８３年神戸大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。日本板硝子株式会社入社。１９９５年日本板硝子株式会社退社。金沢工業大学工学部助教授。２００１年金沢工業大学工学部教授。２００８年金沢工業大学バイオ・化学部教授。博士（工学）

はじめての薄膜作製技術 第2版 [単行本] の商品スペック

商品仕様
出版社名：森北出版
著者名：草野 英二（著）
発行年月日：2012/11/15
ISBN-10：4627774524
ISBN-13：9784627774520
判型：A5
対象：専門
発行形態：単行本
内容：電子通信
ページ数：160ページ
縦：22cm
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