マイクロマシン技術 普及版 (CMCテクニカルライブラリー) [単行本]

マイクロマシン技術 普及版 (CMCテクニカルライブラリー) の 商品概要

• 目次（「BOOK」データベースより）

  基礎編（マイクロファブリケーション
  マイクロ駆動機構（アクチュエータと機構）
  マイクロエネルギーデバイス
  マイクロメカニカルセンサ）
  応用編（マイクロ加工表面修飾による新機能発現
  マイクロデバイス
  トータルマイクロシステム）

• 著者紹介（「BOOK著者紹介情報」より）（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

  北原 時雄(キタハラ トキオ)
  湘南工科大学工学部機械工学科教授
  
  石川 雄一(イシカワ ユウイチ)
  産業技術総合研究所機械システム研究部門総括研究員。（現）（独）産業技術総合研究所臨海副都心センター所長代理

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