初歩から学ぶ機能水(ケイ・ブックス) [単行本]

初歩から学ぶ機能水(ケイ・ブックス) [単行本] の 商品概要

• 要旨(「BOOK」データベースより）

  医療、食品、農業など、さまざまな分野で機能水が注目され始めている。中でも、半導体洗浄においては、一部システムに組み込まれ、研究開発も進んでいる。本書では、地球環境の保全が重要な課題となる昨今、あらたな可能性を秘めた機能水を幅広く取り上げ、さまざまな洗浄技術の改善に役立つ入門書を目指す。

• 目次(「BOOK」データベースより）

  第１章　機能水とは
  第２章　機能水の分類
  第３章　各種分野における機能水の利用
  第４章　機能水の利用事例
  第５章　水の活性化とこれからの機能水

• 著者紹介（「BOOK著者紹介情報」より）（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

  都田 昌之(トダ マサユキ)
  １９６６年東北大学工学部化学工学科卒業。１９７１年同大学大学院工学研究科博士課程化学工学専攻修了工学博士。東北大学工学部助教授、オハイオ州立大学客員教授を経て、１９８８年より、山形大学工学部教授。専門領域は、半導体化学工学、界面化学、化学工学、反応装置工学。現在、「ＭＯＣＶＤによる強誘電体薄膜形成」、「オゾン吸着」、「マイクロ波吸収と洗浄効果」、「超音波励起水によるウェハ表面のエッチング現象」に関する研究などを行っている

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