はじめての半導体計測(ビギナーズブックス) [単行本]

はじめての半導体計測(ビギナーズブックス) [単行本] の 商品概要

• 要旨(「BOOK」データベースより）

  計測の中で、半導体デバイスの研究・開発・製造に用いられる観測技術を「半導体計測」という。半導体デバイスが現在のＩＴ（情報技術）時代・ユビキタス社会（どこにでもコンピュータが存在する社会）を支える土台であるとするならば、半導体計測はその土台を下支えする基礎になり、歩留まり向上などにも重要な役割を果たす。本書は、こうした半導体計測技術の基礎から各手法の内容、またケースごとの半導体計測の原理やポイントについて詳細に解説。

• 目次(「BOOK」データベースより）

  第１章　計測（計測とは
  計測の機能
  計測の性能
  トレーサビリティ）
  第２章　半導体計測（半導体計測の種類
  半導体計測の特徴
  半導体計測の手法）
  第３章　主な半導体計測（パターン寸法・ＬＥＲ（ＬＷＲ）・形状の観測
  微粒子・パターン欠陥の検査
  膜厚の測定
  ウエーハ表面汚染物質の分析
  補足：既成概念からの脱却…超高エネルギー電子ビームの使用）

• 著者紹介（「BOOK著者紹介情報」より）（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

  水野 文夫(ミズノ フミオ)
  明星大学・理工学部教授、工学博士、技術士（電気電子）。１９７０年、名古屋大学大学院・電子工学専攻・修士課程修了、（株）日立製作所勤務を経て２００１年より明星大学に勤務。１９９５年Ｒ＆Ｄ　１００　Ａｗａｒｄ（ＵＳＡ）、１９９６年市村賞受賞

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