触媒CVD(Cat-CVD)の新展開―ラジカルを用いる新プロセス技術 普及版 (エレクトロニクスシリーズ) [単行本]

触媒CVD(Cat-CVD)の新展開―ラジカルを用いる新プロセス技術 普及版 (エレクトロニクスシリーズ) の 商品概要

• 目次（「BOOK」データベースより）

  総論　Ｃａｔ‐ＣＶＤ法の誕生、期待とその課題（Ｃａｔ‐ＣＶＤ法の誕生
  Ｃａｔ‐ＣＶＤ膜の特徴　ほか）
  第１章　基礎編（低温成膜の物理とＣａｔ‐ＣＶＤ―フィラメント表面での化学反応の評価
  気相中のラジカル種の定量　ほか）
  第２章　Ｃａｔ‐ＣＶＤ装置（大型Ｃａｔ‐ＣＶＤ装置
  簡易型Ｃａｔ‐ＣＶＤ装置　ほか）
  第３章　応用編（ＳｉＮ―ＬＳＩトランジスターへの応用
  レジストエッチング―水素ラジカルによるレジスト除去　ほか）
  第４章　材料各論（アモルファスおよび微結晶Ｓｉ
  エピタキシャルＳｉＣ　ほか）

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