超精密加工と表面科学―原子レベルの生産技術 [単行本]

超精密加工と表面科学―原子レベルの生産技術 [単行本] の 商品概要

• 要旨（「BOOK」データベースより）

  次世代のさまざまな製造分野への応用が強く望まれる原子レベルの生産技術。原子レベルの制御性と環境調和性の実現をめざした超精密加工技術、「原子制御製造プロセス」の最新成果を、表面科学や計算物理学などの基礎科学分野と、材料・加工・計測を３本柱とする物づくり分野とが一体となった「ナノ表面科学」として体系化。

• 目次（「BOOK」データベースより）

  第１部　表面ナノデザイン（コンピュータによるマテリアルデザイン；表面界面物性シミュレーション；表面反応過程シミュレーション）
  第２部　薄膜・ナノマテリアル創成プロセス（表面構造と物性制御；新機能薄膜創成技術；ナノデバイス創成技術）
  第３部　表面創成プロセス（ウェットプロセス；半導体ウェットプロセス；大気圧気相プロセス）
  第４部　表面計測の新手法（形状計測；光プローブによる高機能計測；ナノプローブによる高機能計測）

• 出版社からのコメント

  原子レベルの生産技術において、「原子制御製造プロセス」に関する最新の成果を、「ナノ表面科学」として体系化

• 内容紹介

  次世代のさまざまな製造分野への応用が強く望まれる原子レベルの生産技術において、「原子制御製造プロセス」に関する最新の成果を、表面科学や計算物理学といった基礎科学分野と、材料・加工・計測を三本柱とする物づくり分野が一体となった「ナノ表面科学」として体系化している。従来の工作機械精度依存型の超精密加工ではなく、広領域での原子制御製造を可能にする脱超高真空の実環境プロセスを中心に、生産技術志向の観点から「表面科学」が体系化されていることが特徴である。
  基礎科学として体系化された表面科学の分野から、原子制御プロセスに必要な要素を取り上げ、物づくり分野との融合を図る4部構成で、各部の3つの章は基礎から応用へと進むように配置し、応用では最新の研究成果のレビュー含むトピックス、基礎では初学者の理解も助けるよう、原理や一般的方法を紹介する工夫がされている。

超精密加工と表面科学―原子レベルの生産技術 [単行本] の商品スペック