現場のスパッタリング薄膜Q&A 第2版 [単行本]

現場のスパッタリング薄膜Q&A 第2版 [単行本] の 商品概要

• 要旨（「BOOK」データベースより）

  反応性高速スパッタの実務アドバイス。

• 目次（「BOOK」データベースより）

  第１部　基礎編（はじめに
  スパッタリングの基礎知識
  いろいろなスパッタ法
  反応性高速スパッタ法）
  第２部　実践編（ターゲットとカソード
  アーキング対策とアノード
  コンポーネント
  膜質）
  第３部　応用編（装置
  測定
  応用
  未来へ）

• 著者紹介（「BOOK著者紹介情報」より）（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

  小島 啓安(コジマ ヒロヤス)
  １９７７年、東京都立大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。キヤノン（株）に５年間在籍し、半導体露光装置用光学薄膜プロセス、膜設計の開発に従事する。また旭硝子（株）に１２年間在籍し、建築用、自動車用硝子のスパッタプロセス、膜開発に従事する。その後、技術移転会社などを経て２００３年に独立。スパッタリングプロセス、薄膜に関するコンサルタント会社として（有）アーステックを設立。２００９年８月より名古屋大学客員准教授。２０１２年３月名古屋大学より学位取得

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