小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法―μmからnm寸法のものをつくるための材料、物性、形状、機能の評価法 [単行本]
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小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法―μmからnm寸法のものをつくるための材料、物性、形状、機能の評価法 [単行本]
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小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法―μmからnm寸法のものをつくるための材料、物性、形状、機能の評価法 [単行本]

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出版社：コロナ社
販売開始日： 2015/06/30
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小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法―μmからnm寸法のものをつくるための材料、物性、形状、機能の評価法 の 商品概要

  • 目次（「BOOK」データベースより）

    １　シミュレーション
    ２　薄膜の弾性定数の精密計測法
    ３　微小材料や薄膜の材料強度評価法
    ４　３次元マイクロ構造体の形状計測法および信頼性評価
    ５　動特性計測：微細なものの動的変形と振動評価
    ６　微細なものの接着・接合強度評価

  • 著者紹介（「BOOK著者紹介情報」より）（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

    肥後 矢吉(ヒゴ ヤキチ)
    １９６８年東京工業大学工学部金属工学科卒業。１９７４年東京工業大学大学院博士課程修了（金属工学専攻）、工学博士。東京工業大学精密工学研究所助手。１９８７年東京工業大学精密工学研究所教授。１９９３年東京工業大学精密工学研究所教授。２０１０年東京工業大学名誉教授。立命館大学客員教授。２０１５年立命館大学上席客員研究員

小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法―μmからnm寸法のものをつくるための材料、物性、形状、機能の評価法 の商品スペック

商品仕様
出版社名：コロナ社
著者名：肥後 矢吉（編著）
発行年月日：2015/07/17
ISBN-10：4339046434
ISBN-13：9784339046434
判型：A5
対象：専門
発行形態：単行本
内容：機械
ページ数：196ページ
縦：21cm
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