これからのMEMS―LSIとの融合 [単行本]

これからのMEMS―LSIとの融合 [単行本] の 商品概要

• 要旨（「BOOK」データベースより）

  ＭＥＭＳはシーズからニーズの時代へ。これまで不可能とされた「ヘテロ集積化技術」を中心に、ＭＥＭＳの今後の開発促進や有効利用をＭＥＭＳ研究の世界的権威が解説する待望の一冊。「はじめてのＭＥＭＳ」続編。

• 目次（「BOOK」データベースより）

  第１章　ヘテロ集積化（ＭＥＭＳとＬＳＩの融合）
  第２章　次世代携帯機器
  第３章　センサネットワーク・高機能センサ
  第４章　光マイクロシステム
  第５章　バイオ・医療用マイクロシステム
  第６章　製造・検査装置
  第７章　高度化と有効活用への道

• 内容紹介

  MEMSはシーズからニーズの時代へ．
  
  MEMS研究の世界的権威である著者が初めて解説し，大きな反響を呼んだ『はじめてのMEMS』に続く待望の続編です．
  
  情報処理を担う集積回路にMEMSを組み合わせるヘテロ集積化技術で，これまで以上に高機能なデバイスやセンサが可能になり，「次世代携帯機器」「センサネットワーク」「光マイクロシステム」「バイオ・医療」「製造・検査」などをはじめとするMEMSの幅広い応用が期待されています．
  
  本書では，そうした応用やニーズ面，開発の実際などをおもに取り上げ，具体的に解説しています．
  
  これからMEMS技術を取り入れたいと考える技術者・研究者が，MEMSの概要や現状を学ぶのに最適な1冊です．

• 著者紹介（「BOOK著者紹介情報」より）（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

  江刺 正喜(エサシ マサヨシ)
  １９４９年宮城県に生まれる。１９７６年東北大学大学院博士課程（電子工学専攻）修了。東北大学・助手。１９８１年東北大学・助教授。１９９０年東北大学・教授（精密工学科）。２００７年東北大学原子分子材料科学高等研究機構・教授、（兼）マイクロシステム融合研究開発センター（μＳＩＣ）・センター長（２０１０年）、革新的イノベーション研究機構（ＣＯＩ）リサーチフェロー（２０１５年）。工学博士
  
  小野 崇人(オノ タカヒト)
  １９６７年北海道生まれ。１９９６年東北大学大学院博士課程（精密工学）修了。東北大学・助手。２０００年東北大学・助教授。２００９年東北大学大学院工学研究科・教授（機械システムデザイン工学専攻）、（兼）マイクロシステム融合研究開発センター（μＳＩＣ）・副センター長（２０１０年）。工学博士

• 著者について

  江刺 正喜 (エサシマサヨシ)
  東北大学 教授 工学博士
  
  小野 崇人 (オノタカヒト)
  東北大学 教授 博（工）

これからのMEMS―LSIとの融合 [単行本] の商品スペック