MEMSデバイス徹底入門―「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ [単行本]

MEMSデバイス徹底入門―「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ の 商品概要

• 要旨（「BOOK」データベースより）

  これは、ただの解説本ではない！豊富な実験例と平易な文章でスキルと知識が自然と身に付く、初心者からベテランまで必携の一冊！

• 目次（「BOOK」データベースより）

  第１章　ＭＥＭＳを“つかう”（電子情報機器の用途―どこでもＭＥＭＳの時代
  電子情報機器の仕組み―入力と、情報処理と、出力をもつ電子回路
  百聞は一見に如かず１―秋葉原で買ったＭＥＭＳ大集合　ほか）
  第２章　ＭＥＭＳを“わかる”（百聞は一見に如かず２―ばね＋マス＝ＭＥＭＳ構造を理解する
  ＭＥＭＳが加速度を感じる仕組み―マスとばねとの力の釣り合い
  重なり変化で変位を検知―くし歯静電容量による読み出しの原理　ほか）
  第３章　ＭＥＭＳを“つくる”（百聞は一見に如かず４―「実験用ＭＥＭＳ」で見るＭＥＭＳ構造と製法
  フォトリソグラフィ大研究―ＭＥＭＳは「積んで、リソして、削って」作る
  パターンを転写してＭＥＭＳを形作る―Ｄｅｅｐ　ＲＩＥ　ほか）

• 著者紹介（「BOOK著者紹介情報」より）（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

  三田 吉郎(ミタ ヨシオ)
  東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻准教授。文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム微細加工プラットフォーム。東京大学ＶＤＥＣ「超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点」マネージャ。１９７２年広島県呉市生まれ。１９９１年広島大学附属高等学校卒業。１９９５年東京大学工学部電子工学科卒業、学士。１９９７年東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻卒業、修士。２０００年東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻卒業、博士（工学）。２０００年東京大学大規模集積システム設計教育研究センター（ＶＤＥＣ）助手。２００１年東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻講師。２００５年同助教授（２００７年准教授へ呼称変更）。２００１年～大規模集積システム設計教育研究センター協力教員（クリーンルーム大型共用装置担当）。１９９７～１９９８年フランス国立科学研究センター（ＣＮＲＳ）准研究員。２００７～２００８年フランス国立情報学研究所（ＩＮＲＩＡ）招聘教授。２０１６～２０１７年宇宙航空研究開発機構（ＪＡＸＡ）客員准教授。受賞：２０００年丹羽記念賞、２０１３年（第１回）東京大学工学部Ｂｅｓｔ　Ｔｅａｃｈｉｎｇ　Ａｗａｒｄ。所属学会：電気学会、電子情報通信学会、応用物理学会、ＩＥＥＥ。資格：電話級・電信級・第二級・第一級アマチュア無線技士（ＪＦ４ＣＺＪ／１）、家庭電気初級修理技士。東京大学担当講義：電気磁気学、電子回路２、電子情報機器学、全学体験ゼミナール「マイクロマシンを作ろう」、総合科目「わかる電子回路」ほか

• 出版社からのコメント

  ＭＥＭＳ技術がひととおりわかる、ＭＥＭＳを使ってみたい人のための入門書決定版。

• 内容紹介

  ＭＥＭＳ技術がひととおりわかる、ＭＥＭＳを使ってみたい人のための入門書決定版。

MEMSデバイス徹底入門―「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ の商品スペック