異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用―MEMS、NEMS、センサ、CMOSLSIの融合 普及版 （新材料・新素材シリーズ） [単行本]
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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用―MEMS、NEMS、センサ、CMOSLSIの融合 普及版 （新材料・新素材シリーズ） [単行本]
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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用―MEMS、NEMS、センサ、CMOSLSIの融合 普及版 （新材料・新素材シリーズ） [単行本]

益 一哉(監修)、年吉 洋(監修)、町田 克之(監修)
価格：￥7,370（税込）
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出版社：シーエムシー出版
販売開始日： 2019/04/10
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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用―MEMS、NEMS、センサ、CMOSLSIの融合 普及版 （新材料・新素材シリーズ） の 商品概要

  • 目次（「BOOK」データベースより）

    第１編　総論編
    第２編　プロセス技術編
    第３編　回路・デバイス設計技術編
    第４編　ＮＥＭＳ技術編
    第５編　センサ技術編
    第６編　ＲＦ‐ＭＥＭＳ技術編
    第７編　エネルギーハーベスト技術編
    第８編　実装技術編
    第９編　解析・評価技術編

異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用―MEMS、NEMS、センサ、CMOSLSIの融合 普及版 （新材料・新素材シリーズ） の商品スペック

商品仕様
出版社名：シーエムシー出版
著者名：益 一哉（監修）／年吉 洋（監修）／町田 克之（監修）
発行年月日：2019/04/10
ISBN-10：4781313647
ISBN-13：9784781313641
判型：B5
対象：専門
発行形態：単行本
内容：機械
ページ数：279ページ
縦：26cm
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