21世紀版 薄膜作製応用ハンドブック [単行本]

21世紀版 薄膜作製応用ハンドブック [単行本] の 商品概要

• 目次（「BOOK」データベースより）

  第１編　薄膜材料の特性と特徴（薄膜の特徴と特性；薄膜材料の電気特性　ほか）
  第２編　薄膜の作製と加工（基板と表面処理；ＰＶＤ法　ほか）
  第３編　薄膜・表面・界面の分析と評価（薄膜・表面・界面の分析・評価；薄膜分析・評価対象各論）
  第４編　薄膜技術の応用と展望（半導体デバイス；光部品　ほか）

• 著者紹介（「BOOK著者紹介情報」より）（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

  権田 俊一(ゴンダ シュンイチ)
  大阪大学名誉教授・福井工業大学教授

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