図解入門 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み［第2版］（秀和システム） [電子書籍]

図解入門 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み［第2版］（秀和システム） の 商品概要

• 要旨（「BOOK」データベースより）
  製造装置の全体を俯瞰する。あなたの知らない日本の実力がわかる。世界に冠たる日本の半導体製造装置メーカー、その技術力の神髄が手に取るようにわかる！
  目次（「BOOK」データベースより）
  半導体製造装置を取り巻く現状
  半導体製造装置をファブから理解する
  洗浄・乾燥装置
  イオン注入装置
  熱処理装置
  リングラフィー装置
  エッチング装置
  成膜装置
  平坦化（ＣＭＰ）装置
  検査・測定・解析装置
  後工程装置
  著者紹介（「BOOK著者紹介情報」より）（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
  佐藤 淳一(サトウ ジュンイチ)
  京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業（株）（現ＴＤＫ）入社。１９８２年、ソニー（株）入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験
  

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