EE Text センサ・マイクロマシン工学（オーム社） [電子書籍]

EE Text センサ・マイクロマシン工学（オーム社） の 商品概要

• センサとマイクロマシンの基礎から応用まで解説した教科書！
  【平成19年度　電気学会著作賞　受賞】
  
  　「電気学会-オーム社教科書新シリーズ共同出版企画」の1巻。電気・電子・機械系の専門課目であるセンサ・マイクロマシン工学の教科書。
  　本書は、センサとマイクロマシンの原理、微細加工から応用まで含めたマイクロマシンの技術、さらには化学・バイオを含む各種分野のセンサについて解説し、近年のセンサ・マイクロマシン分野の研究・開発の進展に対応している。
  

• 目次

  1章　 本書の構成と使い方
  2章　 センサ・マイクロマシンの概要
  3章　 微細構造製作プロセス技術
  4章　 物理センサ
  5章　 マイクロアクチュエータとマイクロマシン
  6章　化学センサとマイクロ化学システム
  

EE Text センサ・マイクロマシン工学（オーム社） の商品スペック